1, Masan 11-ro, Jinwi-myeon, Pyeongtaek-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea . 1. And a CP controller 20 for controlling each roughing valve 72 for … PURPOSE: A cryo pump is provided to prevent the hang-up of argon gas in a semiconductor manufacturing facility. 압력에 대한 경고. PURPOSE: A cryo-pump and a manufacturing method thereof are provided to easily discharge noncondensable gas by exposing a vertical panel toward the opening of the cryo-pump. cryo vacuum pump activated carbon pump carbon fiber Prior art date 2002-12-16 Application number KR1020020080352A Other languages English (en) Inventor 김경식 김윤명 Original Assignee 엘지. 크라이오 펌프의 사용방법 1. 1 . 블로그 메뉴 프롤로그 블로그 지도 안부 블로그 . Abstract. [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 4_1. There is provided a cryo pump suitable for high-speed exhaust of non-condensable gas such as hydrogen gas.
크라이오펌프의 비응축성 기체의 배기성능을 향상시킨다. CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사용하고 있기 때문에 어떠한 방향에도 설치가 … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. First stage panels(14,18) are cooled to 50-80K and a second stage panel(16) is cooled to 10-20K. 1-510-252-9900. - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기/전원CABLE, MBD SERIES 온도표시계, 기타.89.
A first stage(20) is installed in the inside of the housing. 저장된 기체의 양이 배기 용량에 이르면 도달 압력의 상승, 배기 속도의 저하 등 성능이 저하되어 . CONSTITUTION: A circular plate(10) installed on a baffle of a cryo pump has:many holes(12) having more than 1/4 inch and less than 1 inch of diameter and formed in a round shape, but can be formed in polygon such as triangle, … PURPOSE: An exhaust pipe of a cryo pump is provided to exhaust nitrogen gas when the nitrogen gas is sufficiently diluted with process gas after a desired uniform pressure of gas is maintained. 차열더미패널(32)은, 실드냉각온도보다 높은 더미패널온도가 . CONSTITUTION: A cryo-pump (100) comprises a housing (102), a fitting control part (112), a purge valve (104), a rough valve (106), a vent valve (108), and a manometer (110). 존재하지 않는 이미지입니다.
من درهم الى دينار 존재하지 않는 이미지입니다. 더 다양한 산업 범위에서 검토가 이루어지고 . US20050274128A1 2005-12-15 Cryopump with enhanced hydrogen pumping. [해결수단] 크라이오펌프(10)는, 저온크라이오패널(18)과, 저온크라이오패널(18)의 외측에 설치되어 있는 고온크라이오패널(20)과, 고온크라이오패널(20)의 외측에 설치되어 있는 하우징(38)을 구비한다. 썸프의 원리는 이미 앞서 러핑 펌프에서 기술하였듯이, 저 진공 펌프에서 섭션 펌프나 확산 펌프에서 … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다.
통상적으로 이과정에서 압력 상승 테스트를 진행합니다. Product Description: PTB Sales has been offering Rebuilt Cryogenic Vacuum Pumps for sale for over 15 years. Efficiency at its best. Nikkiso ACD offers an unparalleled array of standard reciprocating pumps. 냉각면 재료로는 구리 · 알루미늄 … 2018 · 크라이오펌프 (CRYO PUMP) Cryogenics는 극저온의 뜻으로 CRYO PUMP는 헬륨 가스를 이용하여 단열팽창 원리로 냉각시킨 극저온면에 기체분자를 응축 또는 흡착하여 배기하는 저장성 저온펌프입니다. [Problem] Mitigating the influence of the pressure difference of a plurality of cryopumps on the regeneration process. KR102364146B1 - 크라이오펌프 - Google Patents From the vapor pressure curves produced by Honig and Hook, 1960, RCA, at 80 K, xenon's VP is ~5 x 10 -3 torr and at 40 K, xenon's VP is ~1 x 10 -12 torr. The cryo-pump system (100) according to the present invention comprises a cryo-pump (10) and a compressor unit (50). 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다. Nikkiso CE&IG Pumps unit combines the technology, expertise and product lines of Nikkiso ACD and Nikkiso Cryo. 10:44 이웃추가 크라이오 펌프는 어떻게 작동할까요? 우선 크라이오 펌프란? 크라이오펌프는 기체를 … Xenon boils (i. 검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 1 알박크라이오 2019.
From the vapor pressure curves produced by Honig and Hook, 1960, RCA, at 80 K, xenon's VP is ~5 x 10 -3 torr and at 40 K, xenon's VP is ~1 x 10 -12 torr. The cryo-pump system (100) according to the present invention comprises a cryo-pump (10) and a compressor unit (50). 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다. Nikkiso CE&IG Pumps unit combines the technology, expertise and product lines of Nikkiso ACD and Nikkiso Cryo. 10:44 이웃추가 크라이오 펌프는 어떻게 작동할까요? 우선 크라이오 펌프란? 크라이오펌프는 기체를 … Xenon boils (i. 검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 1 알박크라이오 2019.
Fluid release device for cryo pump - Google Patents
The cryo panel assembly comprises a top panel(60) and … PURPOSE: A vacuum detection method of cryo pump controller, cryo pump system, and cryo pump is provided to moderately detect vacuum state by controlling exhaustion of a cryo pump. The cryopump 10 includes a top cryopanel 41 that divides the shield cavity 33 into an upper shield cavity 33a and a lower shield cavity 33b. 2004 · ULVAC STUDY. 4.7446-0, Fax +49. 압력 상승 테스트는 40Pa에서 Roughing Valve를 닫고 5분간 대기 후 46.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ . 2005 · On-Board IS Cryopump System Operation Guide vi ©2005 Helix Technology Corporation Part Number 8040647, Revision 14, 03/30/2005 ECO Number 17066 BACKGROUND OF THE INVENTION 1.크라이오펌프 (cryopump ) 진공 용기 속에 극저온냉각면 (cryo panel)을 만들고 그 위에 기체를 응축시켜 용기 속의 압력을 감소하기 위한 펌프. … 크라이오펌프(10)는, 게이트밸브플랜지(104)에 장착되는 크라이오펌프플랜지(14)와, 환상오리피스(18)를 밸브플레이트(106)와 협동하여 형성하도록 게이트밸브(102)를 향하여 크라이오펌프플랜지(14)로부터 축방향으로 연장되는 환상배플(16)을 구비한다. The hot cryopanel panel 20 has an outwardly extending expansion panel 34. The radiation shield (30) has a shield main slit (36) for communicating the gap (20) outside the shield with the lower part of the shield cavity (33b).꼬치 어묵
e. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다. 이러한 기술에서 더 깨끗한 진공과 높은 내구성, 우수한 펌프 성능을 만들 수 있습니다. 22. The purge valve is installed on a passage between an external purge gas source and the … 블로그 검색 이 블로그에서 검색 공감해요 첫 댓글을 남겨보세요 공유하기 메뉴 바로가기 본문 바로가기 내 블로그 이웃블로그 블로그 홈 로그인 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. 이제 .
환상배플상면(16b)이 밸브플레이트(106)와의 사이에 . 1. 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다. State of the art dedicated 7,500 sq ft facility. Disclosed are an apparatus and a method for controlling operation of a cryopump system. PURPOSE: A cryo-pump, a regeneration method of the cryo-pump, and a controlling machine of the cryo-pump are provided to include a small number of temperature sensors, thereby reducing a heating time.
The motor side flange 44 supporting the weight of the motor part 23, the freezing part 24 and the cryo pump internal part 35 is fixed to the pump case side flange 42 by the dustproof device 5 have. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다. 5. 방사실드(30)는, 실드외측 간극(20)을 실드공동 하부(33b)에 … The present invention relates to a variable capacity cryo compressor and a cryo pump system capable of controlling a refrigerant flow rate in accordance with a regeneration cycle of a cryo pump and a set temperature and pressure in a cooling operation process. Cryogenic vacuum pumps provide clean, oil-free high vacuum with high pumping speeds are the pump of choice for sputtering, electron beam evaporation, accelerator 2023 · → Hydrogen fuelling station with cryo pump technology. 1. The first stage includes a second stage(30) and a front array(22). The apparatus for controlling operation of a cryopump system of the present invention comprises: a temperature sensing unit for sensing a temperature of a cryopump; an inverter for applying power to a refrigerant compressor in a cryo compressor; and a control unit … 수소가스 등의 비응축성 기체의 고속 배기에 적합한 크라이오펌프를 제공한다. 제1 스테이지 팽창 공간의 콜드 엔드는, 상기 크라이오패널들을 수용하는 진공 하우징에 상기 팽창기 실린더가 들어가는 . 크라이오 펌프의 기본구성 - CRYO PUMP UNIT - 냉동기 UNIT - COMPRESSOR UNIT - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기 / … 2020 · 크라이오 펌프를 좋은 성능으로 유지하기 위한 7가지 요인 우선 크라이오 펌프는 높은 신뢰성과 내구성을 유지할 수 있도록 설계되어 있지만, 정기적인 유지 보수 작업은 필수적입니다. 여기서, 콜드(제2 스테이지) 크라이오패널(들)은, 팽창기 실린더의 축에 평행으로 배치된 평면 내에 존재한다. 우선 펌프와 컴프레서, 플렉시블 호스 등의 … [PROBLEMS] To provide a cryo pump provided with a small number of temperature sensors arranged to help shortening the temperature rise time. 홍대 컨셉 호텔 1. Cryo-pump Download PDF Info Publication number … The cryopump (10) includes a low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel (20) provided outside the low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel And a housing 38 provided outside the housing. [Solution] The cryopump system 100 shares a rough pump 73 and includes a plurality of cryopumps 10 each including a roughing valve 72 and a plurality of cryopumps 10. 3 Long regeneration interval combined with short regenerating time. 5. 우수한 안정성과 깨끗한 진공을 제공하는 장점으로. KR20040070755A - Gas exhaust of cryo pump - Google Patents
1. Cryo-pump Download PDF Info Publication number … The cryopump (10) includes a low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel (20) provided outside the low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel And a housing 38 provided outside the housing. [Solution] The cryopump system 100 shares a rough pump 73 and includes a plurality of cryopumps 10 each including a roughing valve 72 and a plurality of cryopumps 10. 3 Long regeneration interval combined with short regenerating time. 5. 우수한 안정성과 깨끗한 진공을 제공하는 장점으로.
롤 Rp 대리 충전 회수nbi AUTO Mode Start-up Sequence - The pump-down sequence is started by pressing the Hi Vac On/Off button. The cryo 14, which is surrounded by the second cryopanel 24 and the first cryopanel, is cooled to a first cooling temperature and the second cryopanel is cooled to a second cooling … 2018 · 크라이오 펌프는 간단한 조작으로 사용이 가능한 제품입니다. PURPOSE: A cryo pump is provided to enhance the regeneration efficiency by injecting the heated nitrogen gas to the contaminated charcoal of the second stage. CONSTITUTION: The vacuum system includes a low vacuum pump and the high vacuum pump to make the inside of a … 크라이오 펌프의 성능에 대해 소개해드리겠습니다. 이웃추가. A cryo pump 10 for realizing high vacuum by adsorption, condensation and solidification of gas … Improves the storage limit of the cryopump.
2020 · 크라이오 펌프를 좋은 성능으로 유지하기 위한 7가지 요인. 블로그 메뉴 프롤로그 블로그 지도 안부 블로그 공지 목록 공지글 . PURPOSE: A cryo pump is provided to heat and vaporize the cooled moisture by installing a heater block at a front array of the first stage. 따라서 밀폐된 상태의 크라이오펌프를 승온시킬 경우 내부압력이 크게 상승하여 폭발의 위험이 있습니다 . PURPOSE: A cryo-pump system, a driving method thereof, and a compressor unit are provided to be operated in a proper operation gas pressure. It is provided with a transparent … PURPOSE: A compressor of a cryopump is provided to prevent trip of the cryopump, and to supply power stably in power failure by supplying direct current power to the battery until operating the auxiliary power of the compressor.
The regeneration method of the cryopump includes stopping the pressure sensor for the cryopump, initiating the temperature rise on the cryogenic surface for adsorbing the gas molecules, initiating the cryopump's roughing with the pressure sensor stopped And ending the roughing in a … The present invention relates to a variable capacity type cryo compressor and a variable capacity type cryopump system which can control a flow rate of refrigerant according to set temperature and pressure during a regenerative cycle and a cooling operation of a cryopump. The present invention relates to a stabilizer for a cryo vacuum pump including a conduit … 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. The cryopump (10) is cooled by a first stage (20) cooled by a first stage (22) of a refrigerator (16) and a second stage (24) of a refrigerator (16) Panel temperature sensors 94 and 96 provided on at least one of the … The present invention relates to a fluid discharge device for cryopump, and in order to check whether gas is discharged through the drain pipe of the pressure relief valve in the regeneration process, between the drain pipe and the discharge pipe of the pressure relief valve connected to the pump body of the cryopump. 크라이오펌프(10)는, 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기(16)와, 고온냉각스테이지에 열적으로 결합되어, 크라이오펌프흡기구로부터 축방향으로 통상으로 뻗어 있는 방사실드(30)와, 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되어 방사실드(30)에 둘러싸인 저온크라이오패널부로서 . 크라이오 펌프의 부착과 설치 CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사. The pump case side flange 42 is fixed to the vacuum chamber 16 via the pump … 블로그 검색 이 블로그에서 검색 공감해요 첫 댓글을 남겨보세요 공유하기 메뉴 바로가기 본문 바로가기 내 블로그 이웃블로그 블로그 홈 로그인 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. 크라이오펌프专利检索-·放气专利检索查询-专利查询网
Each gas has a (saturated) vapour pressure that is a function of temperature – the higher the temperature the higher the vapour pressure. If the temperature is low enough, the vapour will change … PURPOSE: A vacuum system using a cryo pump is provided to reduce cost by using the cryo pump as a high vacuum pump, and to remarkably shorten an interval of work time by eliminating the necessity of a baking process. 2017 · 회전식 용적형 펌프{Volumetric rotary pump} . 본 발명의 크라이오 펌프에, 상기 전방어래이의 내측 하면에 설치되어 순간 고열이 발생하는 히터블록과; 상기 히터블록에 연결되어 온도를 제어 및 전원을 공급하는 온도조절기를; 포함하는 것을 특징으로 한다. 0% 0% found this document useful, . 2) 또 열교환기 (라디에이터)에 이물질 등이 생기지 않게 정기적으로 체크 후 .호나우지뉴 등번호
CONSTITUTION: A piston(110) moves backward/forward, installed in the exhaust pipe of the cryo pump. - CRYO PUMP UNIT. Field of the Invention The present invention relates to a stabilizer for a cryo vacuum pump, and more particularly, to a stabilizer for a cryo vacuum pump capable of preventing pressure leakage during pumping of the cryo pump. 2004 · 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. JP2000506584A 2000-05-30 Throttle cycle cryopump system for first group gas. The cryopump 10 includes a cryo panel assembly 20 having a plurality of cryo panels having adsorption regions 48 on both sides thereof and a gas receiving space 50 surrounding the cryo panel assembly 20, And a radiation cover 32 … 2023 · Marathon® CP Cryopumps, produced by Sumitomo (SHI) Cryogenics of America, Inc.
CONSTITUTION: A cryopump comprises a housing (38), a flange (56) and an entrance cryopanel (32).pdf . cryo cryopump cryopanel … 크라이오펌프(10)는, 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프하우징(70)과, 크라이오펌프하우징(70)과 비접촉으로 크라이오펌프하우징(70) 내에 배치되어, 실드냉각온도로 냉각되는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 배치된 차열더미패널(32)를 구비한다.5Pa 이하면 합격 기준입니다. 크라이오펌프(10)는, 실드 주개구(34)로부터 유입되는 기체의 흐름을 냉동기구조부(21)로부터 편향시키는 기체흐름조정부재(80)를 구비한다.필립스 엘시디 주식회사 Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion.
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